金融界2025年4月5日消息，国家知识产权局信息显示，安徽国芯智能装备有限公司申请一项名为“一种光刻机板体定位机构”的专利，公开号CN 119758681 A，申请日期为2025年3月。专利摘要显示，本发明公开了一种光刻机板体定位机构，涉及光刻机技术领域，包括可朝着相反方向同步移动的掩膜对接台和晶圆